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主要应用于:
● CVD
● ALD
● MOCVD
● Ashers
● Wet tools
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产品详情

● 高效臭氧催化剂;

● High efficiency ozone catalyst;

● 采用通用的CF法兰与VCR接头,可快速连接,安装简单;

● CF flange and VCR connector  construction; Simple installation;

● 无需维护

● No maintenance;

● 可按照流量与浓度定制;

● Variable flow and concentration model is available. 


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